先进的用于掩膜刻写与检测的2KHz IndyStar准分子激光器
2kHz高重复频率IndyStar准分子激光器是半导体工业中超高精度的193nm和248nm照明光源。IndyStar准分子激光器的2kHz重复频率以及它的高稳定性在基于紫外激光生产和质量检测的光掩膜中起到至关重要的作用，可获得更小的微芯片结构。
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2KHz IndyStar准分子激光器
激光制造商情来源：广东星之球2010-12-01我要评论(0)
先进的用于掩膜刻写与检测的 2KHz IndyStar 准分子激光器 2kHz 高重复频率 IndyStar 准分子激光器是半导体工业中超高精度的 193nm 和 248nm 照明光源。 IndyStar 准分子...
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