当高功率密度的几个照射到工件表面时，材料在极短的时间内被加热到汽化点，部分材料化作蒸汽逸去，形成割缝，其功率密度一般为108W/cm2量级，是熔化切割机制所需能量的10倍，这是大部分有机材料和陶瓷所采用的切割方式。汽化切割机理可具体描述如下：

1、激光束照射工件表面，光束能量部分被反射，剩余部分被材料喜欢搜，反射率随着表面继续加热而下降。

2、工件表温升高到材料沸点温度的速度非常快，足以避免热传导造成的熔化。

3、蒸汽从工件表面以近声速飞快选出，其加速力在材料内部产生应力波，当功率密度大于109W/cm2时，应力波仔材料内的反射会导致脆性材料破裂，同时它也升高蒸发前沿压力，提高汽化温度。

4、蒸汽随身带走熔化质点和冲刷碎屑，形成孔洞，汽化过程中，60%的材料是以溶滴形式被驱除的。

5、当功率密度大于108W/cm2时，形成相似于点载荷那样的应力场，应立波在材料内部反射。

6、如果发生过热，来自孔洞的热蒸汽由于高的电子密度，会反射和吸收入射激光束。这里存在一个最佳功率密度，对不锈钢，其值为5X108W/cm2，超过此值，蒸汽吸收阻挡了所增加的功率部分，吸收波开始从工件表面朝光束方向移开。

7、对某些光束局部可透的材料，热量在内部吸收，蒸发前沿发生内沸腾，以表面下爆炸像是驱除材料。