机床的最大定位偏差为丝杆的螺距偏差及丝杆的热收缩偏差。但如今上述的大部分偏差已被大幅度低落，机床的重要偏差转而酿成垂直度偏差和直线度偏差。为了到达高的机床三维空间定位精度，机床上所有的3个位移偏差、6个直线度偏差和3个垂直度偏差都必需获得丈量与抵偿。用传统的激光装备干与仪来丈量直线度和垂直度偏差是较困难并费时花钱的。凡是必要停机很多天并请求有履历的里手来进行丈量。
 
相较于传统激光干与仪的几天长期丈量，激光矢量丈量技能仅需数小时便可以实现，是以，三维体积定位偏差丈量和抵偿变得适用，并可到达更高的精度和更小的公役。
 
分步对角线丈量法子使用4条雷同的对角线设置，收集了12组数据。在丈量获得数据的底子上，所有三个位移偏差、六个直线度偏差和三个垂直度偏差都能确定。丈量获得的定位偏差可以用来发生三维体积抵偿表，此表可以被上传到节制器以校准任何定位偏差，从而进步了定位精度。
 
用干与仪和分步对角线丈量法子只需很少的几回丈量就获得了充足多的数据，可以很是明白地表现出机床的状况。能够很是容易地办理一些凡是的问题，诸如装置偏差、温度变革引发的偏差和布局发生的问题等，并无增长装置时间，出产的产物品质愈来愈好。并且，用于三维体积校准的分步对角线丈量必要至多7次丈量，从这7次丈量中可领会到大部门偏差的范例及巨细，可使用该法子来替换传统仪器在装置线上作为光学准直仪、直尺和花岗石平台。
 
激光机和立体镜安顿在主轴和事情台上，沿每一轴X轴、Y轴、Z轴分别分步瓜代挪动，如许反复不停走到对角线的对角上。所有三个轴每一步挪动后对角线的定位偏差就收集到了。这项技能收集了三倍的数据量，并容许可以丈量获得每一轴挪动时的位移偏差。