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LED晶圆激光刻划技术简析(下)

星之球激光来源:激光网2012-03-19我要评论(0)

DPSS全固态激光器的关键市场要求 - 高可靠性 - 长连续运行时间 - 一键开启参数优化的激光LED刻划工艺 --266nm 全固激光器用于LED晶圆正面刻划 --355nm用于背面刻划 - 全...

DPSS全固态激光器的关键市场要求

  - 高可靠性

  - 长连续运行时间

  - 一键开启参数优化的激光LED刻划工艺

  --266nm 全固激光器用于LED晶圆正面刻划

  --355nm用于背面刻划

  - 全球化服务、技术支持网络

  - 短脉冲宽度高峰值功率以达到深度刻划,热损伤最小化

  - 优质的光束质量以达到刻划宽度最小

  - 激光器供应商具备雄厚的应用开发实力和经验

 三、Spectra-Physics(光谱物理)激光器概述

  长期以来,光谱-物理一直被是激光技术领域服务全球客户领导者。50年的发展历程光谱-物理设计、研发、制造了一系列世界首台商用激光器用于工业市场,其中包括LED激光刻划用的激光器。

  总体来讲,激光用于LED的刻划优势是明确的,不过也面临着许多技术挑战,比如不同材料、厚度、不同案例的刻划速度等带来的差异。为此光谱-物理提供多个系列用于激光刻划、分粒的激光器产品,是这方面工业加工的领导者,不断推出创新的高精度激光器,例如Tristar TM, Navigator TM, HIPPOTM等系列高功率纳秒激光器产品,以及Vanguard TM系列皮秒激光器。如果需要用到飞秒激光器,光谱-物理的Solstice?激光器可以提供100fs全自动的飞秒脉冲激光,产品专为工业应用设计,坚固可靠。

  当短脉冲高峰值功率的光谱-物理激光器作用于LED衬底刻划,作用效果是:刻划线条干净,材料位置移动小,对衬底的热效应损伤非常小。光谱-物理为您提供更深层次的应用知识、经验帮助您的工艺实现最佳效果。

  我们的技术、经验以及创新精神使我们激光器卓尔不群。光谱-物理全固态激光器采用的ProLite? 二极管泵浦源具有工业界领导地位,其寿命是竞争对手产品的两倍。此外光谱-物理的EternAlign TM光学器件装乘技术保证了激光器整个寿命期间内外良好的光学对准性。

  光谱-物理独特的腔外倍频技术是全固体Q激光里面的最高品质。另外激光器关键器件诸如泵浦二极管、光纤、shutter、输出窗口等是可以简单的现场维修更换的,这就使得光谱-物理全固态激光器连续运行时间以及平均维修时间(MTTR)成倍的延长,把您的使用、维护成本将为最低。为您供应的每一台光谱-物理激光器背后都有Newport全球激光器服务于技术支持团队的坚实信心和保证。

  Spectra-Physics光谱-物理激光器的优势

  - 长连续工作时间--源自于产品的高可靠性、优良的设计与技术支持

  - 泵浦二极管寿命--二倍于工业激光器泵浦二极管的平均寿命

  - 技术支持--全球的技术支持售后服务网络面向于大面积装机量提供优质服务

  - 市场验证--成千上万的已装机光谱-物理激光器证明了24/7的工业使用状态下激光器优良的工作性能。

  - 短脉冲宽度--意味着更高的峰值功率和最小化的热影响区域

  - 近乎完美的光束质量--刻划宽度更窄

  - 更优质的脉冲-脉冲能量稳定度--以实现精度更高的刻划深度控制

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