并不是所有的激光均适合LED刻划,原因在于晶圆材料对于可见光波长激光的透射性。GaN对于波长小于365nm的光是透射的,而蓝宝石晶圆对于波长大于177nm的激光是半透射的,因此波长为355nm和266nm的三、四倍频的调Q全固态激光器(DPSSL)是LED晶圆激光刻划的最佳选择。尽管准分子激光器也可以实现LED刻划所需的波长,但是倍频的全固态调Q激光器体积更小,比准分子激光器所需的维护更少,而且在质量方面,全固激光器刻划线条非常窄,更适合于激光LED刻划。
激光刻划使得晶圆微裂纹以及微裂纹扩张大大减少, LED单体之间距离更近,这样既提高了出产效率也提高了产能。一般来讲,2英寸的晶圆可以分离出20000个以上的LED单体器件,因而切割的切缝宽度就会显著影响分粒数量;减少微裂纹对于分粒后的LED器件的长期可靠性也会有明显的提高。激光刻划与传统的刀片切割相比,不但提高了产出效率,同时提高了加工速度,避免了刀片磨损带来的加工缺陷与成本损耗,总之,激光加工精度高,加工容差大,成本低。
总结:
随着照明市场的持续增长,LED制造业对于产能和成品率的要求变得越来越高。激光刻划技术将成为LED制造业普遍使用的技术,甚者成为了高亮度LED晶圆加工的工业标准。
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