传感器光路效果图
基于TDLAS(可调谐半导体激光吸收光谱)技术的气体含量实时在线式监测系统是通过气体对特定波长的激光吸收,测量对应气体的含量。它是先进的高灵敏度、快速响应的新一代气体监测技术。
该技术具有测量精度高,可达ppm(百万分之一)量级;准确度高,可检测混合气体中的特定成分气体;响应速度快,可达毫秒响应量级;使用光学方式检测,可抗干扰和防爆特性,可用于易燃易爆气体监测。掌握了自主知识产权,就可定制化生产,满足不同行业气体监测需要。
本项目由中国航天空气动力技术研究院北京航天易联科技发展有限公司、中国科学院电工研究所、中国科学院半导体研究所联合研制。半导体拥有半导体激光器研制和光电子封装技术优势、电工所拥有结构设计、电子电路优势,易联公司拥有航天军工工艺、产品化、市场推广的优势,三家优势互补,推动气体传感器的研制和产品化。
该技术有广阔的应用前景。其中基于TDLAS技术的湿度(水汽)传感器是国内目前唯一的基于该技术的可产品化的湿度传感器,能够解决现有湿度计存在的低温湿度无法测量、高湿度测量不准确等问题,可广泛应用在气象监测、制药、烟草、电子工业、食品加工、农业等领域;同时基于该技术的甲烷等易燃易爆气体传感器具有本质安全性,是易燃易爆、有毒有害等危险气体监测的最佳解决方案。基于该技术的其他气体传感器(甲烷、HF、HN3、NOx等)还可应用在环境监测、汽车制造和航空航天、各种原材料制造、化学制造等行业,具有重大社会经济效益。
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