准分子激光气体（Excimer Laser Gases)主要参数：
可用波长 |
193 nm |
ArF |
248 nm |
KrF |
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308 nm |
XeCl |
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450nm~520nm |
XeF |
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最大紫外功率 |
540 W |
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最大紫外能量 |
1100 mj |
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重复频率 |
可变，1~600 Hz |
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脉冲稳定性 |
0.5%~1%，rms |
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长期漂移 |
0.1%~0.5%，rms |
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光束分布 |
均匀，平顶 |
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脉冲宽度 |
10~20 ns |
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相关气体纯度 |
F2, 99.9% |
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气体工作温度 |
- 40 0C ~ + 74 0C |
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气体压力 |
520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar |
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钢瓶规格 |
10L、16L、20L、50L |
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阀门接口 |
CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14 |
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适用于近视眼矫正手术、白癜风治疗等医疗应用：
适用机型 |
波长 |
钢瓶规格 |
阀门规格 |
工作气体 |
鹰视（COHERENT） |
193 |
20 L |
DIN 8 |
F2, 99.9% |
博士伦（B & L） |
193 |
20 L、50 L |
DIN 8 |
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蔡司（ZEISS） |
193 |
10L、20 L |
DIN 8 |
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威视（VISX） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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尼德克（NIDEK） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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雷赛（LASERSIGHT） |
193 |
10 L |
CGA 679 |
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爱尔康（Alcon） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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康奥（SCHWIND） |
193 |
20 L |
DIN 8、DIN 14 |
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视可佳（六六视觉） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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森美（SUMMIT） |
193 |
16 L |
CGA 679 |
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