德国MLase公司由准分子激光领导者Tuilaser公司前主要技术和领导负责人合作成立，其技术和管理源于Tuilaser公司，MLase公司专注于高品质的准分子激光的研发和制造，其产品广泛应用于医疗、科研和工业应用。
主要技术参数：
型号 |
MLI-500 |
MLI-500 |
类型 |
准分子激光器 |
准分子激光器 |
工作物质 |
ArF |
KrF |
波长 |
193nm |
248nm |
重复频率（最大） |
500Hz |
500Hz |
高电压开关技术 |
固体开关 |
固体开关 |
能量 |
||
最大能量 |
>14mJ |
>18mJ |
稳定能量 |
>10mJ |
>14mJ |
能量不稳定度 |
<3% |
<3% |
平均功率（稳定能量、最高重频） |
5W |
7W |
脉冲宽度 |
||
脉冲宽度（FWHM,典型） |
5-10ns |
5-10ns |
光束数据 |
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光束尺寸（VxH） |
6mmx3mm |
6mmx3mm |
光束发散角（VxH） |
2mradx1mrad |
2mradx1mrad |
寿命 |
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光学的寿命（稳定的能量） |
>200Mio |
>500Mio |
管子寿命（脉冲） |
>2Billion |
>2Billion |
冷却 |
||
冷却 |
被动风冷 |
被动风冷 |
占空循环 |
50%，5min on |
50%，5min on |
尺寸和重量 |
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设备尺寸(LxWxH) |
最大650x315x445mm |
最大650x315x445mm |
设备重量 |
<66kg |
<66kg |
电力供应 |
最大2000VA,单相 |
最大2000VA,单相 |
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MLase准分子激光器应用：
1、准分子眼科医疗；
2、布拉格光栅（FBG）刻写；
3、掩膜版检查；
4、脉冲激光沉积；
5、钻石雕刻；
6、微机械；
7、光谱学研究
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