为光伏、医疗设备和电子产品市场提供激光微加工和卷对卷激光系统的德国公司3D-Micromac已经在江苏启东的韩华新能源生产基地安装了三款microCELL OTF激光系统。 安装完成后,韩华新能源订购了第四套激光系统,以支持将铝背表面场(Al-BSF)技术生产转化为高效钝化发射极后接触(PERC)太阳能电池。
与标准太阳能电池相比,PERC太阳能电池具有显着提高能效水平的潜力。PERC太阳能电池的制造过程中的一个关键步骤是激光接触开口(LCO),其中使用激光烧蚀来在太阳能电池的背面上穿透薄的钝化层。该过程减少了电池中的电损耗,导致大约1%(绝对)更高的转换效率。
相比常规的太阳能电池,PERC太阳能电池能非常显著提供更高水平的能量效率
与标准太阳能电池相比,钝化发射极后接触(PERC)太阳能电池可以提供显着更高水平的能量效率。
microCELL OTF激光平台采用了即时技术,一种当晶圆在机器上连续运动的过程中进行的激光工艺,通过消除运动的死循环来提高吞吐量。该系统的单通道系统达到每小时4000片(Wph)以上的吞吐量值,双通道系统达到8000Wph以上。
该系统还提供非接触式晶圆处理,在处理过程中将晶圆保持在气垫上,以减少或消除表面缺陷和微裂纹,而实现产量最大化。另一方面,机械晶片处理可能增加表面缺陷和微裂纹发生的可能性,这可能导致在随后的处理步骤中额外的晶片损坏。
“中国市场的竞争十分激烈,尤其是价格上的竞争异常激烈,”3D-Micromac的CEO Tino Petsch说道。“通过提供高品质和高产量,以及通过我们激光系统中最高的吞吐量值进行成本稀释,我们成功的成为韩华中国太阳能电池制造工厂技术转换的首选。”
3D-Micromac的系统跟服务目前已经在世界上被各种高科技行业所应用。
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