随着Mini LED的商用,特别是未来Micro LED等新型显示技术的逐步成熟量产,预计LED行业将重回快速成长通道,相关激光设备也将从切割设备扩展为切割、裂片、剥离、修复等多种设备,有望带动中国大陆LED相关激光设备市场突破6亿,预计2025年达到6.6亿元人民币的规模。
自上世纪60年代激光器发明以来,激光技术因其加工对象广、加工变形小、精度高、节省能源、公害小、可远距离加工、自动化加工等诸多优点,在平板显示、LED、半导体、光伏太阳能等领域已成为不可或缺的新型制造技术手段。
在LED制造业,激光设备主要用于晶圆划片。LED产品最主要的衬底材料是蓝宝石,蓝宝石具有高硬度、耐磨性、高稳定性等特点,目前有超过95%的LED衬底都是选用蓝宝石。在蓝宝石切割方面,激光切割具有绝对优势。
相比传统的金刚石划片机,激光划片能量集中、热影响区域小,加工带来的晶圆微裂纹以及其他损伤更小,且不需接触加工工件,对工件无污染,良品合格率高且更稳定,生产效率也能大幅提升。激光技术为LED制造业提供了新的选择,激光划片机在LED行业广泛应用,逐渐成为主流工艺。
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