光刻机大厂阿斯麦尔(ASML)1月3日晚间表示，它在德国柏林的一家工厂发生了火灾。不过，过程中说没有人受伤。至于，现在评估火灾对其营运的影响状况还为时过早。

ASML是当前所有先进半导体芯片制造商的关键生产设备供应商。由于全球半导体芯片目前面临供应短缺的问题，使得该公司目前正在加紧生产设备当中。因此，任何事件造成出货时间的延迟状况，都会冲击到全球半导体产业中那些企图扩大产能的客户们。

起火的公司前身是Berliner Glas，是ASML的供应商。ASML公司2020年才收购了这家公司，当时该公司的年营收约为2.3亿欧元。Berliner Glas主要为ASML光刻机制造光学系统，这是光刻机的三大核心部件之一。Berliner Glas 所生产的零组件主要包括晶圆(wafertables)、光罩盘(reticle chucks)、以及反射镜(mirror blocks) 等产品。

报道进一步指出，ASML对于火灾的状况强调，目前对火灾损失，或是事件本身是否会对ASML在2022年的生产计划产生任何影响，其发表任何声明都为时过早。现阶段预估将需要几天时间来统计损失，其结果也将尽快向市场发布最新资讯。不过，ASML的股价，在传出发生火灾之前持续维持上涨约1%的态势。但是，在传出发生火灾事件之后，则是股价下跌约0.3% 幅度，来到每股704.4 欧元的价位。

2021年10月底，ASML发布了Q3财报，净销售额52亿欧元（约合386亿元），毛利率51.7%，净利润17亿欧元（约合126亿元）。官方预计四季度销售额49亿到52亿欧元，毛利率在51%到52%。

ASML称，三季度，EUV光刻机系统的订单量达到了29亿欧元，且当季的出货量和收入创下历史新高。目前，ASML主力EUV光刻机是TWINSCAN NXE:3600D，其在客户那里也达到了每小时加工160片晶圆的创纪录效率。

DUV（深紫外）光刻机方面，完成出货1000台ArF（氟化氩浸没式光刻系统），这距离第一台浸没式光刻机（XT:1700Fi）出货过去了15年。

此外，ASML的第一台高NA EUV光刻机预计将在2023年开放早期访问，2024年到2025年开放给客户进行研发并从2025年开始量产。据悉，相较于当前0.33NA的EUV光刻机，0.55NA有了革命性进步，它能允许蚀刻更高分辨率的图案。分析师Alan Priestley称，0.55NA光刻机一台的价格会高达3亿美元（约合19亿元），是当前0.33NA的两倍。