3月2日,相干公司举行了“微电子制造技术月”主题系列的首场线上活动。活动上,公司向业界正式推出了MicroLED显示领域的最新研发成果——国内首台UVtransfer三合一设备,并向线上嘉宾作了设备讲解和技术演示。
据相干公司销售及业务扩展经理李帅介绍,UVtransfer三合一集成式激光系统是相干公司在MicroLED领域带来的最新研究成果和解决方案。UVtransfer专为MicroLED生产制造设计,可执行三道重要工艺激光剥离(LLO)、巨量转移(LIFT)和激光修复(Repair)。
UVtransfer技术诞生于相干公司在德国的紫外激光器和光学系统研发中心。该系统的设计初衷是为了在研发环境和试产线中支持基于248nm激光技术工艺开发,提供极高的灵活性和精度,并实现高产出和经过工业验证的可靠性。不久前,公司已经将全球第二台UVtransfer系统安装在深圳实验室,并完成了安装调试,将为中国本土客户提供测试和设计开发等服务。
MicroLED有望降低超大显示屏以及部分小型显示屏应用的成本。在普遍采用MicroLED前,有几项技术挑战需要克服。一是从外延片分离晶粒,二是以微米级的精度和可靠性将晶粒传送到基板。并且这些工艺必须与维修/更换方案兼容,以解决不可避免的瑕疵晶粒问题。同时,它们必须与自动化兼容并确保高产出。
MicroLED顺应了微型化趋势,不需要为减小尺寸而耗费大量成本改进工具。未来MicroLED市场的发展轨迹逐渐清晰可见,更小的裸芯片、更大的晶圆、更高的容量、更大的屏幕和更低的成本。相干公司凭借在显示屏制造领域积累的成功经验,为全球众多客户提供了合适的激光加工解决方案,其中就包括最新推出的UVtransfer三合一设备。
UVtransfer是目前少有能够处理上述三个关键生产步骤的可用系统,每次脉冲可以覆盖大到16mm×2mm的区域,从而实现大规模并行设备处理。要为大型显示屏转移数以亿计的显示裸芯片,并让这些显示屏实现经济效益。
活动最后,相干公司深圳实验室的工程师为嘉宾们演示操作了UVtransfer三合一设备,讲解了有关MicroLED的生产过程。
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