在全球低碳经济与新能源革命的大趋势下，光热发电极有可能成为我国未来份额最大的主导能源。而薄膜太阳能电池作为新一代产品，占领的份额会越来越大。

华工激光一直致力于薄膜太阳能电池激光设备的研发与生产，从承担《电子信息产业发展基金》项目“薄膜太阳能电池激光精密切割系统研制与产业化”开发出了第一代薄膜太阳能刻膜和清边设备起，到承担《国家科技支撑计划》项目“激光精密微细加工技术、装备研究及工程示范”开发出了第二代薄膜太阳能刻膜和清边设备，经过客户生产现场的验证，数次的改良和优化后，现在华工激光推出了全新的第三代刻膜和清边设备，并且已经应用到国内主流薄膜电池厂家，而且在台湾和日本也形成了批量销售。

图1薄膜太阳能激光刻膜设备

华工激光的薄膜太阳能激光刻膜设备主要应用在非晶硅薄膜电池的透明导电膜（SnO2、AZO、ITO）、非晶硅膜（a-Si、μc-Si）、背电极膜（ZnO、Al）等的激光刻膜，碲化镉CdTe薄膜电池的膜层刻膜，铜铟镓硒CIGS薄膜电池金属钼Mo薄膜、金属镍Ni薄膜的刻膜。

华工激光采用两条技术路线，分光系统和独立激光器系统。工作台面采用支撑式或者气浮式。整机加工速度最大可以达到1500mm/s,三线刻膜外沿总宽度可达到200μm，保证电池板更大的发电量。拥有专利的吸尘机构，不仅对激光加工整体部分（全部基板）进行吸尘，玻璃基板移动时依然进行全面吸尘。针对激光/光学部分的温度漂移，采用压缩空气温度调节器来保证。出现激光光弱的情况，监视器功能自动运行调节LD电流，保证出光的稳定性。

图2薄膜太阳能激光清边设备

华工激光的薄膜太阳能激光清边设备主要应用在薄膜太阳能电池的周边镀膜的刻线绝缘、清边。

华工激光采用振镜加龙门的架构，激光器・光学设备・振镜头配有循环冷却系统，保证设备的稳定性。激光器配备功率监测，稳定输出功率，可大幅度减少不良产品。基板通过7处定位，同时其中2处进行基板尺寸测量。测量精度达到25μm，基板测量的数值经过反馈后进行加工。为了有效的吸尘，吸尘管以分割构造配置在激光加工点的正下方。（边4处和角4处）边4处的吸尘管设计为吸尘切换模式，针对激光加工区集中吸尘，激光加工时吸尘管上升，以最靠近基板的位置加强流量进行吸尘。该吸尘机构实现了完全吸尘的效果。

图3 紫外激光打标机图4光纤激光打标机图5 CO2激光打标机

华工激光的薄膜太阳能激光标记设备，选用标准的紫外激光打标机、光纤激光打标机、CO2激光打标机。可直接集成到产线上，进行生产，满足客户不同的标记需求。

武汉华工激光工程有限责任公司一直秉承代表国家竞争力，具备国际竞争力。通过自身的强大技术实力消化吸收进口设备，把薄膜太阳能激光设备国产化，并且技术性能指标达到国际一流水平。